-
2018
e-mail: info@tdisie.nsc.ru

"-2"
-
НАЗНАЧЕНИЕ
Формирование непрерывного профиля произвольной топологии на плоских и криволинейных поверхностях

ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Основан на формировании изображений в материалах (хром, фоторезист) сфокусированным лучом лазера в режиме кругового растрового сканирования. Высокая точность синтеза топологии элементов достигается за счет использования прецизионных систем управления (перемещениями и мощностью излучения)
ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
Переход на полупроводниковый лазер (λ = 405 нм) позволил:
- уменьшить влияние турбулентности и дрейфа положения лазера относительно оптической головки благодаря размещению на портале;
- сократить длину оптического канала;
- избавиться от водяного охлаждения и связанных с ним шумов;
- расширить динамический диапазон экспонирующей мощности за счет программного управления лазером;
- повысить разрешение за счет уменьшения λ.
Уменьшение температурных дрейфов за счет особой конструкции механических частей
Снижение массо-габаритных характеристик.
Увеличение рабочего хода каретки в 2 раза
Увеличение конкурентоспособности ЛГИ за счет применения прецизионного датчика перемещения и углового датчика от известных мировых производителей
Новое программное обеспечение для записи 3D структур на выпуклых и вогнутых поверхностях
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Пространственное разрешение до 1000 лин./мм
Разрешение по радиальной координате не хуже 1 нм
Разрешение по угловой координате не хуже 0.25 угл. с
Диапазон перемещения по вертикальной координате до 25 мм
Погрешность автофокусировки ± 0.05 мкм
Светочувствительный слой пленки хрома, фоторезист
Материал подложки стекло, кварц