Главная Институт Наука www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН

РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА



3D измерительные технологии и СТЗ для атомной промышленности

  "Контроль"
  "Размер"
  "Решетка"
  "МКСТ"
  "Дефект"
  "Диск"
  "Буер"
  "Град"
  "Град-2"
  "Бурун"
  "Блок"
  "Профиль"
  "Нанопрофилометр"
  "Томограф"
  "УКВр-1"
  "Себрон-Н"
  "Сердечник"
  "СКРол-1"
  "Вид+дефект"
  "Оптико-электронный
анализатор спектра"



Измерительные системы для горнодобывающей, алмазодобывающей, нефтяной промышленности

  "Сепаратор"
  "РЛС-Ц"
  "Источник"
  "Универсал"
  "МИРИ"
  "Сито"
  "Шлиф"
  "АРЦ-10"
  "Сахалин"



Лазерные технологии для оптико-механической, аэрокосмической промышленности и научных исследований

  "CLWS-300"
  "Л Г И-2"
  "LSP-2000"
  "КРТ"
  "СПИЦА"
  "АСУ ТП ТВИ"
  "АСО МИ"
  "ККРВ ФКИ"
  "БИПЛАН"



Измерительные технологии и СТЗ для промышленности и ж/д транспорта

  "Комплекс"
  "Лабракон"
  "Промышленная"
  "Пантограф"
  "Контакт"
  "Станок"
  "Накопитель"
  "Стеллаж"
  "Мойка"
  "Ролик"
  "Кольцо"



АРХИВ РАЗРАБОТОК


ГОРЯЧЕЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ>


"НАНОПРОФИЛОМЕТР"

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП-НАНОПРОФИЛОМЕТР МНП


ОПИСАНИЕ
Микроскоп МНП работает в двух режимах:
  • Режим нано-измерения предназначен для измерения высоты рельефа поверхностей высокого класса чистоты с разрешением менее 0.1 нм в диапазоне от 0 до 50 мкм.
  • Режим микро-измерения предназначен для измерения высоты рельефа «грубых» поверхностей в диапазоне от 0 до 10 мм с разрешением менее 0.1 мкм.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Измерение нанорельефа
диапазон измерений по высоте от 0 до 50 мкм
разрешение по высоте 0.1 нм
поперечное разрешение 1,7 / 0.8 / 0.3 мкм
зона измерения 2.4х1.8 /1.1х0.8/0.5х0.34 мм2
Измерение микрорельефа
диапазон измерений по высоте от 0 до 10 мм
разрешение по высоте 0.1 мкм
поперечное разрешение 1.7 / 0.8 / 0.3 мкм
зона измерения 2.4х1.8 /1.1х0.8/0.5х0.34 мм2

ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
  • компактность;
  • высокое быстродействие;
  • устойчивость к внешним вибрациям;
  • высокая степень автоматизации процесса измерения;
  • развитый программный интерфейс пользователя;
  • высококачественный графический интерфейс для работы с многоплановыми 3D-представлениями результатов измерения;
  • широкие возможности настройки микроскопа на разные типы морфологии измеряемых поверхностей;
  • возможность работы в двухволновом режиме;
  • автоматизированное позиционирование объекта измерения по трём координатам;
  • возможность измерения больших площадей путём сшивки результатов отдельных измерений;
  • уникальная система хранения и систематизации результатов измерения.

Рабочее место

ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Принцип действия основан на использовании интерференции частично-когерентного света. Измерение производится посредством сканирования рельефа измеряемой поверхности по высоте. При измерении используется как амплитудная, так и фазовая информация автокорреляционной функции интерферирующего света. Такой принцип позволяет производить измерения в широком диапазоне и решать большинство измерительных задач, как в производстве, так и в научных исследованиях.

ГАЛЕРЕЯ
микроизмерения

структура в полимере

след от авторучки на бумаге

слой кварца на стекле

наноизмерения

полоска на полупроводнике

структура на полупроводнике

слой металла на кремнии

ПАТЕНТНАЯ ЗАЩИТА
Получен патент на способ измерения профиля поверхности №2245515. Российская федерация от 27.01.05


ПРОФИЛЬ ТОМОГРАФ