Главная Институт Наука www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН

РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА



3D измерительные технологии и СТЗ для атомной промышленности

  "Контроль"
  "Размер"
  "Решетка"
  "МКСТ"
  "Дефект"
  "Диск"
  "Буер"
  "Град"
  "Град-2"
  "Бурун"
  "Блок"
  "Профиль"
  "Нанопрофилометр"
  "Томограф"
  "УКВр-1"
  "Себрон-Н"
  "Сердечник"
  "СКРол-1"
  "Вид+дефект"
  "Оптико-электронный
анализатор спектра"



Измерительные системы для горнодобывающей, алмазодобывающей, нефтяной промышленности

  "Сепаратор"
  "РЛС-Ц"
  "Источник"
  "Универсал"
  "МИРИ"
  "Сито"
  "Шлиф"
  "АРЦ-10"
  "Сахалин"



Лазерные технологии для оптико-механической, аэрокосмической промышленности и научных исследований

  "CLWS-300"
  "Л Г И-2"
  "LSP-2000"
  "КРТ"
  "СПИЦА"
  "АСУ ТП ТВИ"
  "АСО МИ"
  "ККРВ ФКИ"
  "БИПЛАН"



Измерительные технологии и СТЗ для промышленности и ж/д транспорта

  "Комплекс"
  "Лабракон"
  "Промышленная"
  "Пантограф"
  "Контакт"
  "Станок"
  "Накопитель"
  "Стеллаж"
  "Мойка"
  "Ролик"
  "Кольцо"



АРХИВ РАЗРАБОТОК


ГОРЯЧЕЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ>


"ЛГИ-2"

ЛАЗЕРНЫЙ ГЕНЕРАТОР ИЗОБРАЖЕНИЙ НОВОГО ПОКОЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ЛАЗЕРА


(совместная разработка КТИ НП и ИАиЭ СО РАН)

НАЗНАЧЕНИЕ
Формирование непрерывного профиля произвольной топологии на плоских и криволинейных поверхностях

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Пространственное разрешение до 1000 лин./мм
Разрешение по радиальной координате не хуже 1 нм
Разрешение по угловой координате не хуже 0.25 угл. с
Диапазон перемещения по вертикальной координате до 25 мм
Погрешность автофокусировки ± 0.05
Светочувствительный слой пленки хрома, фоторезист
Материал подложки стекло, кварц


Фрагмент одного квадранта 15-разрядного абсолютного углового датчика с кодом Грея на диаметре 40 мм
Тестовое изображение для исследования про цесса записи по хрому (диаметр 350 мкм, минимальные размеры элементов 10 х 10 мкм).
Тест N100 ( две шкалы с разностью периодов 0.3 км)                                               
Интерферограмма поверхности дифракционного оптического элемента. Ошибка волнового фронта λ/100.

ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ

Основан на формировании изображений в материалах (хром, фоторезист) сфокусированным лучом лазера в режиме кругового растрового сканирования. Высокая точность синтеза топологии элементов достигается за счет использования прецизионных систем управления (перемещениями и мощностью излучения)

ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ

  1. Переход на полупроводниковый лазер (λ = 405 нм) позволил:
    - уменьшить влияние турбулентности и дрейфа положения лазера относительно оптической головки благодаря размещению на портале;
    - сократить длину оптического канала;
    - избавиться от водяного охлаждения и связанных с ним шумов;
    - расширить динамический диапазон экспонирующей мощности за счет программного управления лазером;
    - повысить разрешение за счет уменьшения λ.
  2. Уменьшение температурных дрейфов за счет особой конструкции механических частей
  3. Снижение массо-габаритных характеристик.
  4. Увеличение рабочего хода каретки в 2 раза
  5. Увеличение конкурентоспособности ЛГИ за счет применения прецизионного датчика перемещения и углового датчика от известных мировых производителей
  6. Новое программное обеспечение для записи 3D структур на выпуклых и вогнутых поверхностях

Поставляется по контракту в КНР (HIT)


CLWS-300 LSP