Главная Институт Наука www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН

РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА



3D измерительные технологии и СТЗ для атомной промышленности

  "Контроль"
  "Размер"
  "Решетка"
  "МКСТ"
  "Дефект"
  "Диск"
  "Буер"
  "Град"
  "Град-2"
  "Бурун"
  "Блок"
  "Профиль"
  "Нанопрофилометр"
  "Томограф"
  "УКВр-1"
  "Себрон-Н"
  "Сердечник"
  "СКРол-1"
  "Вид+дефект"
  "Оптико-электронный
анализатор спектра"



Измерительные системы для горнодобывающей, алмазодобывающей, нефтяной промышленности

  "Сепаратор"
  "РЛС-Ц"
  "Источник"
  "Универсал"
  "МИРИ"
  "Сито"
  "Шлиф"
  "АРЦ-10"
  "Сахалин"



Лазерные технологии для оптико-механической, аэрокосмической промышленности и научных исследований

  "CLWS-300"
  "Л Г И-2"
  "LSP-2000"
  "КРТ"
  "СПИЦА"
  "АСУ ТП ТВИ"
  "АСО МИ"
  "ККРВ ФКИ"
  "БИПЛАН"



Измерительные технологии и СТЗ для промышленности и ж/д транспорта

  "Комплекс"
  "Лабракон"
  "Промышленная"
  "Пантограф"
  "Контакт"
  "Станок"
  "Накопитель"
  "Стеллаж"
  "Мойка"
  "Ролик"
  "Кольцо"



АРХИВ РАЗРАБОТОК


ГОРЯЧЕЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ>


"КРТ"

СИСТЕМА КОНТРОЛЯ КРТ ПЛАСТИН


НАЗНАЧЕНИЕ
Автоматическое обнаружение и измерение дефектов на поверхности кремниевых пластин, используемых при изготовлении термочувствительных линеек и матриц.


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Кратность (увеличение) изображения на камере 2,5x, 10x, 20x, 40x
Диапазон перемещений объекта (стола) по осям X и Y 0 – 50 мм
Скорость перемещения стола 0,5 мм/с
Минимальный размер обнаруживаемых дефектов 2 мкм
Максимальный размер обнаруживаемых дефектов 200 мкм
Погрешность определения линейных размеров дефектов в диапазоне от 20 мкм до 200 мкм 20%, не более
Время обработки одного кадра изображения 1 с
Число элементов разложения изображения 756x581
Количество уровней яркости изображения 256

Карта плотности дефектов

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ
Автоматический режим:
  • сканирование и ввод в компьютер изображений различных участков пластины
  • поиск дефектов и определение их размеров
  • составление карты плотности дефектов на разных участках пластины и их статистического распределения по размерам
Интерактивный режим:
  • ввод изображений с микроскопа
  • сохранение в файлах, визуализация на мониторе и распечатка изображений
  • получение численных характеристик указанных оператором дефектов (линейных размеров, площадей и формы)

Система может использоваться в промышленности и для научных исследований.


lsp-2000 РАЗРАБОТКИ