Главная Институт Наука www.tdisie.nsc.ru English version Сайт Президиума СО РАН

РАЗРАБОТКИ ИНСТИТУТА



3D измерительные технологии и СТЗ для атомной промышленности

  "Контроль"
  "Размер"
  "Решетка"
  "МКСТ"
  "Дефект"
  "Диск"
  "Буер"
  "Град"
  "Град-2"
  "Бурун"
  "Блок"
  "Профиль"
  "Нанопрофилометр"
  "Томограф"
  "УКВр-1"
  "Себрон-Н"
  "Сердечник"
  "СКРол-1"
  "Вид+дефект"
  "Оптико-электронный
анализатор спектра"



Измерительные системы для горнодобывающей, алмазодобывающей, нефтяной промышленности

  "Сепаратор"
  "РЛС-Ц"
  "Источник"
  "Универсал"
  "МИРИ"
  "Сито"
  "Шлиф"
  "АРЦ-10"
  "Сахалин"



Лазерные технологии для оптико-механической, аэрокосмической промышленности и научных исследований

  "CLWS-300"
  "Л Г И-2"
  "LSP-2000"
  "КРТ"
  "СПИЦА"
  "АСУ ТП ТВИ"
  "АСО МИ"
  "ККРВ ФКИ"
  "БИПЛАН"



Измерительные технологии и СТЗ для промышленности и ж/д транспорта

  "Комплекс"
  "Лабракон"
  "Промышленная"
  "Пантограф"
  "Контакт"
  "Станок"
  "Накопитель"
  "Стеллаж"
  "Мойка"
  "Ролик"
  "Кольцо"



АРХИВ РАЗРАБОТОК


ГОРЯЧЕЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ>


"CLWS-300"

ЛАЗЕРНЫЙ ГЕНЕРАТОР ИЗОБРАЖЕНИЙ


(совместная разработка КТИ НП и ИАиЭ СО РАН)

НАЗНАЧЕНИЕ
  • cинтез прецизионных хромовых шаблонов или мастер-оригиналов элементов плоской двухмерной (2D) оптики
  • запись дифракционных структур на осесимметричных трехмерных (3D) оптических поверхностях

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Пространственное разрешение до 1000 лин./мм
Разрешение по радиальной координате не хуже 10 нм
Разрешение по угловой координате не хуже 0.25 угл. с
Диапазон перемещения по вертикальной координате до 25 мм
Погрешность автофокусировки ±0,05 мкм
Светочувствительный слой пленки хрома, фоторезист, халькогениды, LDW стекла
Материал стекло, кварц

Схема оптической головки записи с самонастраивающейся системой автофокусировки

ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Основан на формировании изображений сфокусированным лучом лазера в режиме кругового растрового сканирования за счет взаимодействия его с материалом в точно заданных участках рабочего поля установки. Высокая точность синтеза топологии элементов достигается за счет использования прецизионных систем управления (перемещениями и мощностью излучения) и режима записи т.н. "скрытых" изображений.

ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
  • большое рабочее поле
  • высокое разрешение
  • высокая точность формирования топологии элементов
  • простота и дешевизна технологии
  • возможность записи на двухмерных (2D) и трехмерных (3D) поверхностях
  • наличие самонастраивающейся системы автофокусировки для поиска и захвата поверхности записи и удержания микрообъектива в положении наилучшей фокусировки.

Коммерческие образцы сданы в эксплуатацию:

Германия
  • Институт технической оптики Штутгарского университета,
  • Берлинский институт оптики
Италия
  • Исследовательский центр ФИАТ
Россия
  • Уральский оптико-механический завод, г.Екатеринбург
  • ОАО "Геофизика-Космос" г.Москва
Китай
  • Институт физики аэрокосмической корпорации, г.Ланчжоу

Области применения:

  • Синтез элементов дифракционной оптики диаметром до 280 мм
  • Синтез высокоточных углоизмерительных структур (достигнут фактор нестабильности не более 0.144 мкм, что позволяет синтезировать структуры диаметром 100 мм с погрешностью не более 0.6 угловой секунды, а структуры диаметром 280 мм - не более 0.2 угловой секунды)
  • Синтез злементов макромеханики (погрешность формирования на порядок ниже, чем с помощью X-Y генераторов изображений)

  • ЛГИ-2